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X 射線光電子能譜儀

ESCALAB QXi X射線光電子能譜儀微探針

雙晶微聚焦單色器帶有 500 mm 羅蘭圓，使用鋁陽極（或有雙單色器選項的鋁銀雙陽極），測試光斑尺寸在 200 μm 到 900 μm 范圍內可選。

與分析儀輸入透鏡同軸的電子槍用于在使用單色 X 射線源分析非導電樣品時進行電荷補償，而不使用磁透鏡時，雙束電子槍產生兩種低能離子，以協助提供有效的電荷補償和低能電子。

ESCALAB QXi XPS微探針上的透鏡和分析儀系統針對光譜學和平行成像進行了優化；單一分析儀路徑意味著相同的儀器參數（例如，通過能）可用于譜圖和成像。

ESCALAB QXi XPS 微探針配備了兩個檢測器系統：一個針對光譜進行了優化，由一組六通道電子倍增器組成，另一個用于平行成像，由一對通道板和一個連續位置敏感探測器組成。

ESCALAB QXi XPS 微探針有兩個選項用于快速、高分辨率的深度剖析：標準 EX06 離子槍，針對單粒子模式離子濺射和離子散射光譜進行了優化；以及可選的單粒子和團簇離子源 MAGCIS，它能夠應用于單粒子離子剖析、離子簇剖析和離子散射光譜分析。

所有分析功能均由基于 Windows 軟件的 Avantage 數據系統控制，這意味著可以根據需要遠程執行整個分析過程。

包含銅、銀和金樣品的標準塊可用于評估靈敏度、設置分析儀能量標度的線性度、校準離子源、校準 X 射線單色器以及確定分析儀的轉換功能。

樣品臺上的所有運動軸均由 Avantage 數據系統控制，儀器上安裝了高分辨率數碼攝像機，并與分析位置準確對齊。

計算機控制的 5 軸高精度轉換器 (HPT) 可實現準確的樣品對齊以進行分析。當與新的自動樣品裝載系統結合使用時，它可用于自動更換樣品架和運行預設實驗樹。

分析室由 5 mm 厚的高導磁合金構成，以最大限度地提高磁屏蔽效率，并使用渦輪分子泵和鈦升華泵對分析室進行抽氣，使分析室的真空度優于 5 x 10^-10毫巴。

標準前處理室是一個組合式的樣品入口鎖和制備室，具有可容納各種樣品制備設備的端口，例如加熱/冷卻探針、離子槍、高壓氣室、樣品停放裝置和氣體入口。

測量坐標可以通過Thermo Scientifc Maps軟件從專用顯微鏡系統導入Avantage數據系統，從而更快地識別測量區域。可以將 XPS 光譜和成像數據添加至 Maps 軟件中，以便直接比較表面化學和結構信息。

性能數據

單色 X 射線源	微聚焦 Al K-Alpha 源或可選的微聚焦雙陽極 Al K-Alpha 和 Ag L-Alpha 源
分析	180°、雙聚焦、雙極半球形分析儀，配備用于光譜和成像的雙檢測器系統
離子源	Monatomic EX06 離子源作為標準配置提供； MAGCIS 雙模離子源可選
真空系統	兩個用于入口和分析室的渦輪分子泵，配備旋轉泵或無油前級泵；用于分析室的自啟動、3 絲鈦升華泵
樣品臺	具有樣品加熱和冷卻功能的 5 軸樣品臺從樣品室到分析室的可選全自動樣品傳送
包括標準分析技術	X 射線光電子能譜 (XPS) 反射電子能量損失譜 (REELS) 離子散射譜 (ISS)
可選的分析技術	用于紫外光電子能譜 (UPS) 的紫外燈用于 HAXPES 的非單色 X 射線源用于俄歇電子能譜 (AES) 和 SEM 的場發射電子源逆光電子能譜 (IPES) EDS 檢測器
可選配件	手套箱、真空轉移容器、EX03 寬束離子源、盤片相機
樣品制備選項	加熱/冷卻樣品架、附加制備室、可烘烤的 3 路進氣管、斷裂臺、樣品停放裝置